4月6日,日本名古屋大學發(fā)表了一項名為“高速薄膜制作法”的新技術(shù),短短1分鐘即可在基板上無縫排列氧化物、石墨烯、氮化硼等二維材料(納米片)制成薄膜。而原本要生成如此薄膜需要1小時。
該成果由名古屋大學未來材料和系統(tǒng)研究所的長田實教授及其研究團隊發(fā)表,詳情可參考美國化學學會出版的材料與界面工藝學術(shù)雜志《ACS Applied Materials & Interfaces》。(https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsami.3c02250?cookieSet=1)
此次研究成果圖(出自:名古屋大學新聞公告PDF)
所謂納米片(nano-sheets),是指石墨烯、六方氮化硼、過渡金屬鹵化物、二硫化鉬(MoS2)和二硫化鎢(WS2)等,具有1至數(shù)個原子層的超薄片狀材料。不同于以往材料(尺寸在μm以上的結(jié)晶),它們具有高電子和離子遷移率,高介電性能,透明性,高耐熱性等優(yōu)異特性。
要想做出能夠最大發(fā)揮其優(yōu)異特性的元器件,重點在于將納米片稠密地排列在各類基板上并制成薄膜。此前的薄膜制作主要是使用“Langmuir-Blodgett法”(即LB膜),但該方法需要熟練的操作和復(fù)雜的條件,再加上制成1層膜就需要1小時之久,這就成了納米片應(yīng)用的一大瓶頸。于是,為了解決這些問題并不斷推進納米片的元器件開發(fā)和工業(yè)化,開發(fā)一種工藝能夠簡便且短時間內(nèi)實現(xiàn)納米片材料的高品質(zhì)稠密排列成膜就成了迫切需求。
此次研究的始末,是在探討新制膜技術(shù)時,通過使用自動移液器,在基板上滴下一滴氧化物、石墨烯、氮化硼等納米材料的膠狀水溶液后將其吸取,嘗試在短時間內(nèi)實現(xiàn)了納米材料間無縫隙稠密地自動排列。然后,經(jīng)過了1分鐘極短的時間成功地完成了稠密排列的單層成膜。
二維納米片的高速、液相制膜。(a)自動制膜設(shè)備的整體照。(b)自動制膜設(shè)備的制膜情景。(c)氧化鈦納米片的制膜結(jié)果。(c左)1英寸Si基板上制成的納米片單層膜的光學照片。(c右)原子力顯微鏡下的膜質(zhì)??梢钥闯黾{米片材料緊密地排列著。(出自:名古屋大學新聞公告PDF)
接下來經(jīng)過對該自動制膜的最佳條件、制膜機制之后得出結(jié)論,即使用添加1%~2%乙醇的稀釋膠體溶液(濃度:0.02~0.05%/L)效果最佳,通過降低膠體溶液的表面張力,促進納米片材料的對流,可以抑制納米片之間疊壓和縫隙的產(chǎn)生,實現(xiàn)高效的排列控制。進一步地重復(fù)單層制膜的操作,還可以形成以納米片厚度為單位的可控的多層膜結(jié)構(gòu)。
研究團隊表示,此次的新技術(shù)不僅可以應(yīng)用于氧化物、石墨烯、氮化硼等多種組合結(jié)構(gòu)的納米片,還可以在各種形狀、尺寸、材質(zhì)的基材上成膜,是一種通用性極高的制膜技術(shù)。另外,該技術(shù)基于自動移液器進行簡便的滴落和吸取操作,不需要專業(yè)的知識和技術(shù),一下即可完成4寸晶圓大小的大型成膜、小批量按需自動成膜等。
該技術(shù)實現(xiàn)了簡便、短時間且只消耗少量溶液就能完成高品質(zhì)緊密排列的大面積成膜,可以大大削減制造成本,將來或許會發(fā)展成重要的納米片的工業(yè)制膜方法和納米涂層法。
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